热式质量流量计用于直接测量气体的质量流量，并且不需要温压补偿，具有高精度和长期稳定性的特点，可用于压缩空气的计量，过程行业的气体流量测量，或者污水处理厂等的生物沼气测量。
热式质量流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。其典型传 感元件包括两个热电阻（铂RTD），一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。当两个 RTD被置于介质中时，其中速度传感器被加热到环境温 度以上的一个恒定的温度，另一个温度传感器用于感应 介质温度。流经速度传感器的气体质量流量是通过传感 元件的热传递量来计算的。气体流速增加，介质带走的热量增多。使传感器温度随之降低。为了保持温度的恒定，则必须增加通过传感器的工作电流，此增加的部分电流大小与介质的流速成正比。